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氮气的纯度取决于精馏塔的塔板级数和精馏效率。 [3] 深冷分离法工艺已经历了 100 多年的发展，先后经历了高压、高低压、中压和全低压流程等多种不同的工艺流程。随着现代空分工艺技术和设备的发展

高压、高低压、中压空分流程已基本被淘汰，能耗更低、生产更安全的全低压流程已成为大中型低温空分装置的。全低压空分工艺根据氧氮产品压缩环节不同，又分为外压缩流程和内压缩流程。全低压外压缩流程生产出低压氧气或氮气

但是，当初他并不知道制得的纯净气体是氧气。尽管如此，细心的普利斯特里又做了许多试验来了解这种气体的性质，以及它同别种“空气”的区别。他的研究方法是：1、他将研究的气体放在玻璃瓶中，倒一些水进去，该气体不溶解。2、他把燃烧的蜡烛放进该气体中，蜡烛竟放出耀眼的强光。

拉瓦锡通过氧气的实验，提出了燃烧的氧化学说，了燃素说，发动了化学的化学革命，使过去以燃素说形式倒立着的化学正立过来。因此，虽然不是他首先发现氧气，但恩格斯还是称他为“真正发现氧气的人”，而舍勒和普利斯特里是“当真理碰到鼻尖上的时候还是没有得到真理”。