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氮气的纯度取决于精馏塔的塔板级数和精馏效率。 [3] 深冷分离法工艺已经历了 100 多年的发展，先后经历了高压、高低压、中压和全低压流程等多种不同的工艺流程。随着现代空分工艺技术和设备的发展

1773年，他把硝石（KNO3）装进曲颈瓶，瓶口系一个排完空气的猪膀胱，再把曲颈瓶放到火炉上去烧。硝石融化时分解，放出一种气体，很快把猪膀胱充满了，这种气体正是那种能活命的气体，即氧气。

冶炼工艺：在炼钢过程中吹以高纯度氧气，氧便和碳及磷、硫、硅等起氧化反应，这不但降低了钢的含碳量，还有利于清除磷、硫、硅等杂质。而且氧化过程中产生的热量足以维持炼钢过程所需的温度，因此，吹氧不但缩短了冶炼时间，同时提高了钢的质量。高炉炼铁时，提高鼓风中的氧浓度可以降焦比，提高产量。在有色金属冶炼中，采用富氧也可以缩短冶炼时间提高产量。